CZT基板
説明
CdZnTe CZT 結晶は、その優れた結晶品質と表面精度により、HgCdTe (MCT) 赤外線検出器に最適なエピタキシャル基板です。
プロパティ
結晶 | CZT (Cd0.96Zn0.04て) |
タイプ | P |
オリエンテーション | (211)、(111) |
抵抗率 | >106Ω.cm |
赤外線透過率 | ≥60%(1.5um-25um) |
(DCRC FWHM) | ≤30ラジアン秒 |
EPD | 1x105/cm2<111>;5x104/cm2<211> |
表面粗さ | Ra≤5nm |
CZT基板の定義
CZT基板は、テルル化カドミウム亜鉛基板とも呼ばれ、テルル化カドミウム亜鉛(CdZnTeまたはCZT)と呼ばれる化合物半導体材料で作られた半導体基板です。CZT は、X 線およびガンマ線検出の分野におけるさまざまな用途に適した高原子番号の直接バンドギャップ材料です。
CZT 基板はバンドギャップが広く、優れたエネルギー分解能、高い検出効率、および室温で動作する能力で知られています。これらの特性により、CZT 基板は放射線検出器、特に X 線イメージング、核医学、国土安全保障、天体物理学用途の製造に最適です。
CZT 基板では、カドミウム (Cd) と亜鉛 (Zn) の比率を変えることができ、材料特性の調整が可能になります。この比率を調整することで、CZT のバンドギャップと組成を特定のデバイス要件に合わせて調整できます。この構成上の柔軟性により、放射線検出アプリケーションの性能と多用途性が向上します。
CZT 基板を製造するには、CZT 材料は通常、垂直ブリッジマン成長、移動ヒーター法、高圧ブリッジマン成長、または蒸気輸送法などのさまざまな方法を使用して成長します。通常、CZT 基板の結晶品質と表面仕上げを向上させるために、アニーリングや研磨などの成長後プロセスが実行されます。
CZT 基板は、X 線およびガンマ線イメージング システム用の CZT ベースのセンサー、材料分析用の分光計、セキュリティ検査用の放射線検出器などの放射線検出器の開発に広く使用されています。高い検出効率とエネルギー分解能により、非破壊検査、医療画像処理、分光分析用途に貴重なツールとなります。