MgF2基板
説明
MgF2は110nmから7.5μmまでの波長のレンズ、プリズム、窓として使用されます。193nmの透過率が良好なため、ArFエキシマレーザーの窓として最適な材料です。紫外域の偏光としても効果を発揮します。
プロパティ
| 密度（g/cm3） | 3.18 |
| 融点(℃) | 1255 |
| 熱伝導率 | 300Kで0.3Wm-1K-1 |
| 熱膨張 | 13.7×10-6/℃平行c軸 8.9×10-6/℃ c軸直角 |
| ヌープ硬度 | 415 100g 圧子付き (kg/mm2) |
| 比熱容量 | 1003 J/(kg.k) |
| 誘電率 | 1MHz 平行 c 軸で 1.87 1.45 @ 1MHz 垂直 c 軸 |
| ヤング率(E) | 138.5GPa |
| せん断弾性率(G) | 54.66GPa |
| 体積弾性率 (K) | 101.32GPa |
| 弾性係数 | C11=164;C12=53;C44=33.7 C13=63;C66=96 |
| 見かけの弾性限界 | 49.6 MPa (7200 psi) |
| ポアソン比 | 0.276 |
MgF2 基質の定義
ＭｇＦ２基板とは、フッ化マグネシウム（ＭｇＦ２）結晶材料からなる基板を指す。MgF2 は、マグネシウム (Mg) とフッ素 (F) 元素から構成される無機化合物です。
MgF2 基板には、さまざまな用途、特に光学および薄膜蒸着の分野で人気があるいくつかの注目すべき特性があります。
1. 高い透明性: MgF2 は、電磁スペクトルの紫外 (UV)、可視、赤外 (IR) 領域において優れた透明性を示します。約115nmの紫外線から約7,500nmの赤外線までの広い透過範囲を持っています。
2. 低い屈折率: MgF2 は屈折率が比較的低いため、不要な反射を最小限に抑え、光の透過率を向上させるため、AR コーティングや光学部品に理想的な材料となります。
3. 低吸収: MgF2 は紫外および可視スペクトル領域で低吸収を示します。この特性により、レンズ、プリズム、紫外線または可視光線用の窓など、高い光学的透明性が必要な用途に役立ちます。
4. 化学的安定性: MgF2 は化学的に安定しており、さまざまな化学物質に対して耐性があり、さまざまな環境条件下でもその光学的および物理的特性を維持します。
5. 熱安定性: MgF2 は融点が高く、大きな劣化なく高い作業温度に耐えることができます。
MgF2 基板は、さまざまなデバイスやシステムの光学コーティング、薄膜堆積プロセス、光学窓やレンズに一般的に使用されています。また、半導体材料や金属コーティングなど、他の薄膜を成長させるためのバッファ層やテンプレートとしても機能します。
これらの基板は通常、蒸着法や物理的蒸気輸送法などの技術を使用して製造され、MgF2 材料が適切な基板材料上に堆積されるか、単結晶として成長します。アプリケーションの要件に応じて、基板はウェーハ、プレート、またはカスタム形状の形状にすることができます。
