SrTiO3基板
説明
SrTiO3 単結晶はペロブスカイト構造材料の良好な格子構造を持っています。これは、HTS およびほとんどの酸化膜のエピタキシー成長に優れた基板材料です。高温超電導薄膜の研究に広く使用されています。特殊な光学窓や高品質のスパッタリングターゲットにも広く使用されています。
プロパティ
方向: (100) +/-0.5 度
エッジ方向表示: <001> +/-2 Deg は追加料金のオプションとして利用可能
研磨: CMP 技術により片面 EPI 研磨され、表面下の格子損傷が少なくなります。
梱包：1000クラスのクリーンルーム内で100グレードのビニール袋に梱包します。
| 結晶構造 | 立方晶系、a=3.905 A |
| 成長方法 | ベルヌイル |
| 密度（g/cm3） | 5.175 |
| 融点（℃） | 2080 |
| 硬度（モー） | 6 |
| 熱膨張 | 10.4 (x10-6/℃) |
| 誘電率 | ～300 |
| 10 GHzでの損失正接 | ~5x10-4@ 300K、~3 x10-4@77K |
| 色と外観 | 透明 (アニーリング条件によってはわずかに茶色になる場合もあります)。双子なし。 |
| 化学的安定性 | 水に不溶 |
SrTiO3 基板の定義
ＳｒＴｉＯ３基板とは、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ３）という化合物からなる結晶基板をいう。SrTiO3 は立方晶構造のペロブスカイト材料であり、高い誘電率、高い熱安定性、および他の多くの材料との良好な格子整合を特徴としています。
SrTiO3 基板は、薄膜堆積やエピタキシャル成長の分野で広く使用されています。SrTiO3 の立方晶構造により、優れた結晶品質と低い欠陥密度を備えた高品質の薄膜の成長が可能になります。このため、SrTiO3 基板は、さまざまな用途のエピタキシャル膜やヘテロ構造の成長に非常に適しています。
SrTiO3 は誘電率が高いため、コンデンサ、メモリデバイス、強誘電体薄膜などの用途に適しています。熱安定性により高温用途に適しています。
さらに、低温での金属伝導性や超伝導状態を誘起する可能性など、SrTiO3 の多様な特性により、物性物理学の研究や電子・光電子デバイスの開発に役立ちます。
要約すると、SrTiO3 基板はチタン酸ストロンチウムで作られた結晶基板であり、その高い誘電率、熱安定性、良好な格子整合特性により、薄膜堆積、エピタキシャル成長、および幅広い電子および光電子アプリケーションで一般的に使用されます。
